作者: Bike (徵小引擎) 站內: Talk
標題: Re: 問無塵室
時間: Sat Mar 12 17:00:39 2005
※ 引述《qqqqqq (如果讓我再愛你一次)》之銘言：
> 請問一下各位大大
> 有沒有人在半導體產業或制程工作的
> 小弟想問一下有關於無塵室等級的問題
> 還有一些制程的問題Orz
無塵室等級主要依照單位空間體積內的灰塵數量來分
我待過的黃光室等級有以下三種(也有更高檔的!!)
1.最初級的黃光室,class 100000,工作人員衣著就像是食品工廠一樣,
主要有頭套,腳套(無鳥套),無塵衣,防靜電鞋,口罩組合成天線寶寶裝
這類的空氣過濾系統,比較便宜,相對而言無法過濾顆粒太小的灰塵,
不適合用於 sub micron 的半導體產業,不過用在 MEMS 製程倒是OK
這是我先前待的實驗室
2.class 10000,交大半導體中心的無塵室,據說還有一個小型的class100
(還是 class 10)的高級無塵室隱藏在最裡面,他們的衣著比較像是怪醫
黑傑克,無塵衣像是一件大道袍,外加手套,頭套,鞋子,口罩組成
3.class 100 (or class 10,也是忘了),這是某一家園區廠商,因為屬於量產
需求,潔淨度要求嚴格,不可能讓你穿個道袍四處逛,他們的無塵衣嚴格很多
一件連身式設計,從頭包到腳,只露出眼睛,就像忍者一樣神秘
為何需要無塵室呢,因為半導體製程製作的元件已經小到 sub micron, 諸如
常常聽到的點25,點18,就是0.25 micro meter,以及0.18 micro meter,也就是
250nano meter以及180 nano meter,只要一顆小灰塵,甚至是頭髮沾到,馬上說881
因此製作的元件越小,需要的無塵室愈高檔,越需要考慮空氣循環系統,以及廠內的
儀器配置,避免亂流
無塵室內的製程,常見有濕蝕刻,乾蝕刻,黃光微影,薄膜蒸鍍/濺度,檢測儀器
(諸如 surface profile,顯微鏡,probe station,等等),加上有一堆化學藥品
鹽酸,硝酸,KOH,HF(武林傳說中的化骨水),丙酮,異丙醇,碳氟類氣體等等
所以必須恆濕恆溫,確保化學藥品的性質以及化學反應時間,
在無塵室中待太久,皮膚會乾燥,週遭有一堆化學藥品揮發的氣體,長久下來對人體
非常不好,若要進入無塵室,最好不要戴隱形眼鏡,避免有機溶劑揮發的氣體對隱形眼鏡
有反應,導致眼角膜受傷
如果還要更進一步知道無塵室相關知識,可以到書局翻"無塵室設計"以及"半導體製程"
相關書籍.....
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→ qqqqqq 推：感謝大大 面對著化骨水讓我傷當害怕... 05/03/12
→ herjion 推：推化骨水.... orz 05/03/12
→ qqqqqq 推：這東西真的恐怖 無色無味跟水一樣被滴到的時候沒 05/03/12
→ qqqqqq 推：感覺 也不會痛 等到感覺會痛的時候骨頭已經不見了>< 05/03/12
→ herjion 推：我們學校現在都沒有在洗板子了,因為沒有回收費溶劑了 05/03/12
→ herjion 推：只是有些同學做專題還是會用到,我看到都會閃超遠的.. 05/03/12
→ herjion 推：不知道進無塵室有沒有氧氣桶可以背,..越老越怕死 05/03/12
→ nVIDIA 推：化骨水這麼恐怖阿 外面買的到嗎？ 05/03/12
→ nVIDIA 推：我是怕壞人很容易買的到啦...不是自己想要的= =a 05/03/12
→ chungyingh 推：我就是在最嚴格的無塵室工作><" 05/03/12
→ owen 推：HF非常不穩定 一般化學材料行不會有這種東西啦~"~ 05/03/12